技术参数
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名称 |
2000℃温度可控型30KW感应加热炉--SP-50KTC |
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视频 |
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感应加热器
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工作电压：三相AC 380V，50Hz（需60A空气开关）。 输入功率：25KW。 震荡频率：30-80KHz。 循环比：80%。 感应线圈：150mm(OD)×140mm（ID）×65mm（H）。 保护系统：带有自动水压、过热、功率过高保护。 耐火材料：配有多块采用氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，和防止热量辐射。 |
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温度控制器&热电偶
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工作电压：AC 208~240V,单相。 采用PID方式控温 ，可设置30段升降温程序 设备带有过热和断偶保护功能。 控温精度±3℃。 采用C型热电偶，探头伸入石墨坩埚内。 长期使用温度：1900℃ 工作温度: 2000℃。（<5小时） 升温速率： 10℃/second(1000℃-1200℃)。 8℃/second(1200℃~1500℃)。 3℃~6℃/second (1500℃~2000℃)。 |
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石墨坩埚和耐火砖 |
高纯石墨坩埚: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height 。 容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2。 可选:为对晶片热处理，可定制石墨样品台，至多可放置晶片尺寸为1.5'' O.D x 1/8'' T，因为石墨导热率非常高，所以可使放置的晶片受热均匀。
保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃）。 |
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密封法兰&石英管 |
顶部法兰: 采用不锈钢折叠式法兰，带有一1/4＂的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀。 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接。 石英管尺寸：130mm(OD) x 122mm(ID) x 360mm(L)。 仪器中配有KF25挡板阀和KF25*1000mm的波纹管，以便与真空泵相连接。
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防腐型真空计
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当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换，量程可到3.8x10E-5 torr |
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循环水冷机
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温度范围: 5 - 30℃ 水流速： 16L/min 水箱容积: 12 Liters 采用不锈钢制作 水压≥0.1MPa，流量≥5L/Min 注: 本公司建议使用专用的冷却液作为冷却介质 |
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真空泵
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仪器中配有一2L/S的双极旋片机械泵，使管内的真空度达到10e-2 torr。 工作电压AC 208-240V, 单相。 |
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移动炉架 |
结构: 钢框架结构。 800mm×600mm的移动炉架可方便移动电感应加热器和带有法兰的石英管。 |
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注意 |
为了保护石墨坩埚和C型热电偶，要不断通入惰性气体。 此设备可改为RTP（快速热处理炉）和混合物理化学气相沉积（HPCVD）系统，请点击下面的图片查看，如您有任何特殊需求可联系我们。
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产品尺寸
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感应加热器:520mm x 520mm x 450mm 水冷机组: 460mm x 475mm x 762mm 移动炉架： 600mm(L) x 800mm(W) x 597mm(H) |
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质保期 |
一年保质期，终生维护（产品相关耗品不在保修范围内） |
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净重 |
120kg |
